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上海芯物科技有限公司

      芯物科技为国家智能传感器创新中心运行实体。国家智能传感器创新中心是由工信部于2018年6月批复成立的一家以智能传感器关键共性技术研发和中试为主要目标的国家级制造业创新中心。芯物科技建设了国内首条以国产设备为主的12英寸先进传感器中试线,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力。

      最新进展:2023年末,芯物科技完成4.5亿元的首轮增资,投后估值6.87亿元。